膜厚仪检测原理与精度分析
1.基本原理
涡流涂镀层测厚仪的基本工作原理是,当测头与被测式样接触时,测头装置所产生的高频电磁场,使置于测头下的金属导体产生涡流,其振幅和相位是导体与测头之间非导电覆盖层厚度的函数.即该涡流产生的交变电磁场会改变测头参数,而测头参数变量的大小,并将这一电信号转换处理,即可得到被测涂镀层的厚度.
2.根据测量原理的分类
（1）磁性测厚法:适用导磁材料上的非导磁层厚度测量.导磁材料一般为:钢铁银镍.此种方法测量精度高.
（2）涡流测厚法:适用导电金属上的非导电层厚度测量.此种方法较磁性测厚法精度高
（3）超声波测厚法:适用多层涂镀层厚度的测量或则是以上两种方法都无法测量的场合.
（4）电解测厚法:此方法有别于以上三种,不属于无损检测,需要破坏涂镀层.一般精度也不高.测量起来较其他几种麻烦
（5）放射测厚法:此种仪器价格非常昂贵(一般在10万RMB以上),适用于一些特殊场合.国内目前使用最为普遍的是第1、2两种方法.
3.影响测量精度的原因
(1)覆盖层厚度大于25µm时,其误差与覆盖层厚度近似成正比;
(2)基体金属的电导率对测量有影响,它与基体金属材料成分及热处理方法有关;
(3)任何一种测厚仪都要求基体金属有一个临界厚度,只有大于这个厚度,测量才不会受基体金属厚度的影响;
(4)涡流测厚仪对式样测定存在边缘效应,即对靠近式样边缘或内转角处的测量是不可靠的.
(5)试样的曲率对测量有影响,这种影响将随曲率半径的减小明显地增大;
(6)基体金属和覆盖层的表面粗糙度影响测量的精度,粗糙度增大,影响增大;
(7)涡流测厚仪对妨碍测头与覆盖层表面紧密接触的附着物质敏感.因此测量前应清除测头 和覆盖层表面的污物;测量时应使测头与测试表面保持恒压垂直接触